Boleng bo reriloeng ba mongobo o lekanyelitsoeng ka phaposing e hloekileng ea semiconductor (FAB).

Boleng bo reriloeng ba mongobo o lekanyelitsoeng ka phaposing e hloekileng ea semiconductor (FAB) ke hoo e ka bang 30 ho isa ho 50%, ho lumella moeli o moqotetsane oa phoso oa ± 1%, joalo ka sebakeng sa lithography - kapa ka tlase ho ts'ebetso ea ultraviolet e hole (DUV) zone - ha libakeng tse ling e ka phutholoha ho ± 5%.
Hobane mongobo o lekanyelitsoeng o na le mabaka a mangata a ka fokotsang tšebetso e akaretsang ea likamore tse hloekileng, ho kenyelletsa:
1. Ho hōla ha baktheria;
2. Mocheso oa mocheso oa kamore bakeng sa basebetsi;
3. Tefiso ea motlakase e hlaha;
4. Ho bola ka tšepe;
5. Ho kokobetsa mouoane oa metsi;
6. Ho senyeha ha lithography;
7. Ho monya metsi.

Likokoana-hloko le lintho tse ling tse silafatsang tsa likokoana-hloko (mouta, livaerase, li-fungus, mites) li ka atleha libakeng tse nang le mongobo o fetang 60%.Libaka tse ling tsa libaktheria li ka hola ka mongobo o fetang 30%.Khamphani e lumela hore mongobo o lokela ho laoloa ho tloha ho 40% ho isa ho 60%, e leng se ka fokotsang tšusumetso ea libaktheria le mafu a phefumolohang.

Mongobo o lekanyelitsoeng sebakeng sa 40% ho isa ho 60% le ona ke mofuta o itekanetseng bakeng sa boiketlo ba batho.Mongobo o mongata haholo o ka etsa hore batho ba ikutloe ba koaletsoe, athe mongobo o ka tlase ho 30% o ka etsa hore batho ba ikutloe ba omme, ba phunya letlalo, ba sa phutholoha ho hema le ho hloka thabo maikutlong.

Mongobo o phahameng o hlile o fokotsa ho bokellana ha litefiso tsa electrostatic sebakeng sa bohloeki - sephetho se lakatsehang.Mongobo o tlase o loketse ho bokella tefiso le mohloli o ka bang kotsi oa ho tsoa ha electrostatic.Ha mongobo o lekanyelitsoeng o feta 50%, litefiso tsa electrostatic li qala ho senyeha ka potlako, empa ha mongobo o lekanyelitsoeng o le ka tlase ho 30%, li ka tšoarella nako e telele holim'a insulator kapa holim'a metsi a se nang motheo.

Mongobo o lekanyeditsweng o pakeng tsa 35% le 40% o ka sebediswa e le ho sekisetsa ho kgotsofatsang, mme dikamore tse hlwekileng tsa semiconductor ka kakaretso di sebedisa ditaolo tse eketsehileng ho fokotsa ho bokellana ha ditefiso tsa motlakase.

Lebelo la liphetoho tse ngata tsa lik'hemik'hale, ho kenyelletsa le lits'ebetso tsa kutu, li tla eketseha ka ho eketseha ha mongobo o lekanyelitsoeng.Libaka tsohle tse pepesehileng moeeng ho potoloha phaposi e hloekileng li potlakile.